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傳感器與微器件的應用、前景和發展
發布時間：2014-08-08 點擊次數：1692次
??? 總的來講，MEMS 器件的市場發展趨勢是樂觀的。幾位文獻作者指出：到 2000 年，所有 微器件的市場合計將達 120 億?130億美元。Ristic 等人(1994)預測到 20(H)年，傳感器的市 場總頷(不僅僅是微制造器件)將達到 130 億美元。對于那些對微機械加工感興趣的人來說， 關鍵的問題是市場總額的組成及各自的比例。他們解釋說：增長主要來自今后對“硅傳感器 技術”的開發。
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??? 系統規劃公司(SPC) (1994)的市場研究預測，到 2000 年，僅MEMS 市場就將增至 139? 億美元。與 Ristic 等(1994)的預測相比，雖然他們考慮的器件范圍有所不同，Ristic 等 (1994)只考慮包含微傳感器在內的傳感器;而 SPC(1994)只考慮微器件，其中包含執行器，但結論相近，并且都相當樂觀。Petersen (1 抑 6a)的預測是：器件銷售類為 26 億美元， 能夠帶動 210 億美元的系統銷售額。雖然數字很小，但其意義重大。與此類似，Brpek (1996)提供了更為保守的估計——到 2005 年，撖器件的市場總額約為 105 億美元。Bryzek? 同時指出，從第一個樣品到大批量的銷售，中間一般要相隔 10 到 20 年的時間，以上的預測 都是在這個基礎上做出的。
????就傳感器市場的劃分，許多專家認為：在今后幾年，汽車方面的應用將占市場的主要部 分。前面提到的 Ristic 和 SPC 對市場的
劃分不同，Ristic 等(1994)是按應用的領域來劃分， 而 SPC (1994)是按器件類型。不論哪種劃分方法，一次性器件市場(比如醫用器
件市場)? 的增長相對較快。
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???? 一個關鍵點是微傳感器與執行器構成了使能技術，其最大的支配能力來源于對系統價值的使能與附加。上面提及的 SPC 報告估計 <或許有些樂觀h到2000年，微器件的年銷售將 達130億美元，這會帶動近 1000 億美元的年銷售。然而，把使能技犬視為一項重要技術時,? 諸如注模技術、電路印制版技術、黏結技術等也有可能被看做是使能技術?！笆鼓芗夹g”這 概念的進一步討論有些學術氣，
但這種討論無疑會繼續進行下去。
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???? 微型傳感器與執行器的市場仍在不斷開展，但并沒有像 70 年代集成電路市場那樣形成爆 發性增長。有些人喜歡將這兩種市場進行比較，但實際上并沒有什么意義，因為在微機械中 并沒有像MOS 電路這樣的支撐技術(MOS 電路在很大程度上促成了數字電子1:業的指數增 長)D或許將微機械加工比做模擬集成電路更合適一些，模擬集成電路當然也是一坤使能技 術，但就市場容量而言，與存儲器、微處理器等數字電路比起來還相去甚遠。但時間終會證實，這類技術是多么重要。
???? 現在，在此領域的許多工作都集中在表面微機械加工上，如在襯底上制造薄謨結構，“微 機械加工技術"一章將對此作詳細敘述。但在工業界銷售的絕大部分器件是用較舊的體微機 械加工技術制造的。雖然表面微器件現在也在批量生產，但要對市場產生巨大影響還窬幾年。 至少在短期內，哪種方法都不可能主宰市場。市場將繼續由這兩種方法制造的新器件共同占 有，它們都能實現電路的集成。有關微制造器件開發的一個有趣而重要的問題是：從概念到成批生產銷售之間的孵化期常常超過十年，這就使過于依賴技術預測而對市場作出的判斷很可能超前。
??? 有許多以微傳感器與執行器為中心議題的會議。4 下面是一些最知名的會議：
??? 態傳感器與拭行器研討會(^So!if? 丨 Sensor anti ActuatorWorkshop) *? 或你“ Hiiton Head”(Jl：美范圍的小型會議，在
HikonHead, SC 舉行 T 限制參加人數。隔年開，比如 1992, 1994、1996……)因態 傳感 器 與執 行器 會(International Conference on
Soljd-Stale Strj.sors find Ac 丨 un-tonO 或稱：“ rsduceW (大型國際會議，在亞洲、北美或歐洲舉隔年召開，比如1叫t、?993、1995……)。
????微 機 電 糸 統 研 會 (Micro Elt^rcji ： Mc-chamcal SystemsWorksliop)T? 或稱"MKMS"(巾組 匡際研討會，每年舉辦一次，中心議題是執行器與機械器件)。
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??? 微生休分析系統會議(Micro Total Analysis Systems)?或稱￡H"TA>S” (國際會議,中心 議題為微機械化學系統，隔年在歐洲舉行…次如〖的 4 (第一屆)、1996..…h? 歐洲傳感器會公(Eurcsensors)(在歐洲舉行，討論范圍很廣，每年一次 K? 在北美及以卟地區都有許多特定的微機械專題會議。另外，在許多歷史久遠的“主流”? 學科會議上也增加丫對 MEMS 的技術踉蹤。這是很自然
的事，M 為隨肴微機械領域的發屐成 熟，其他學科的最終 W 戶必將采用這項技術的可用部分。
